光学显微镜通过把光束聚焦在样品表面即可采集高精准度的样品图像从而生成结构可视化的光罩表面分析影像，从而对光罩进行可靠的缺陷检测。
◆半自动光罩检查分析光学显微镜
1、光学显微镜通过把光束聚焦在样品表面即可采集高精准度的样品图像从而生成结构可视化的光罩表面分析影像，从而对光罩进行可靠的缺陷检测。
2、主要用于对微小物体进行高清晰度的观察和分析。
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